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CVD系列全閉環(huán)控制型特征
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從位置指令結(jié)束開始，使用外部傳感器的反饋，通過全閉環(huán)控制進(jìn)行位置修正。
5相步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器 CVD系列全閉環(huán)控制型
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步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的全閉環(huán)控制
在開始定位時(shí)，利用步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的高響應(yīng)進(jìn)行開環(huán)控制，從位置指令結(jié)束開始，使用外部傳感器的反饋，通過全閉環(huán)控制進(jìn)行位置修正。
實(shí)現(xiàn)高精度定位
通過直接反饋機(jī)構(gòu)位置的全閉環(huán)控制，修正檢測(cè)位置相對(duì)于指令位置的差分（偏差）。
有助于亞微米以內(nèi)需要高精度定位的裝置設(shè)計(jì)。
有助于亞微米以內(nèi)需要高精度定位的裝置設(shè)計(jì)。
參考 實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)
● 空程※1實(shí)測(cè)數(shù)據(jù) |
【測(cè)定條件】 螺桿導(dǎo)程1ｍｍ 直線光柵尺分辨率0.1μm 位置范圍：1cnt ※2 采用激光測(cè)長(zhǎng)測(cè)量
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※1 電動(dòng)機(jī)從CW或CCW方向?qū)δ繕?biāo)位置進(jìn)行定位，此時(shí)的停止位置相對(duì)于旋轉(zhuǎn)方向的差。
※2 以編碼器脈沖計(jì)數(shù)1的誤差(-0.2～0.2μm)為目標(biāo)進(jìn)行修正。
● 直線光柵尺的分辨率
※2 以編碼器脈沖計(jì)數(shù)1的誤差(-0.2～0.2μm)為目標(biāo)進(jìn)行修正。
● 直線光柵尺的分辨率
