半導體設備
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優(yōu)化半導體設備空間利用率解決方案 |
提高效率、省空間
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工藝升級，控制柜空間不足，布置困難、費時費力？
應用范圍：半導體制程（如刻蝕、鍍膜、鍵合、檢測等）、面板、電子零部件等相關設備 解決方案：AZ系列多軸驅(qū)動器·薄型 ●省空間 ●節(jié)省布線 ●控制統(tǒng)一 痛點：①因工藝流程升級、增加等，在相同設備空間中新增工位軸數(shù)， 但控制柜空間難以容納新增的驅(qū)動器與布線設置。 ②狹小的空間新增軸數(shù)后，驅(qū)動器設置、布線難度增大，耗時。 |
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AZ系列多軸驅(qū)動器·薄型 |
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節(jié)省空間的多軸驅(qū)動器·薄型
廠內(nèi)空間利用率要求日益加劇，開發(fā)多層、多腔室集群的半導體制程設備（如刻蝕設備）設計逐步成為升級的趨勢。此外，設備的安裝空間有限，為了提高下一代半導體制造設備的生產(chǎn)率，必須不斷縮減整個設備的占地面積。■小型化·節(jié)省空間
1臺驅(qū)動器最多可同時控制4軸電動機，滿足裝置整體的小型化需求。 與現(xiàn)有的單軸驅(qū)動器或多軸驅(qū)動器相比，可大幅節(jié)省空間。
與傳統(tǒng)驅(qū)動器相比，多軸驅(qū)動器·薄型可減少約66%的安裝空間。
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簡化配線，節(jié)省空間·提升效率
AZ系列多軸驅(qū)動器·薄型擁有對應EtherCAT、MECHATROLINK-Ⅲ、SSCNETⅢ/H的產(chǎn)品陣容。通過一個驅(qū)動器控制多個軸，減少控制柜中的配線布置，減少繁雜的布線工序，提升研發(fā)效率。
此外，AZ系列步進伺服混合控制系統(tǒng)步進電動機搭載機械絕對式ABZO編碼器，機構上可免傳感器，同時可節(jié)省控制柜上I/O模塊、端子臺等元件設置，進一步提升空間利用率。
以統(tǒng)一的控制完成各種運動
AZ系列擁有型號齊全的標準型、帶電磁制動、減速機型等產(chǎn)品。還備有電動機與電動傳動裝置組合的機構產(chǎn)品，一體化的設計可節(jié)省機構設計及空間。
共通的電動機、電纜線，使得配線、控制、維護部件均統(tǒng)一，可縮短裝置裝配時間。
多軸工位使用安裝尺寸42mm以下的電動機（DC電源輸入）時，可選用薄型。
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?標準型 AZ系列 |
?減速機型 AZ系列 |
?電動滑臺 EZS系列 |
?電動缸 EAC系列 |
小型電動缸 ?DR系列 ?DRS2系列 |
?中空旋轉(zhuǎn)式 傳動裝置 DGII系列 |
統(tǒng)一的優(yōu)點：
• 配線統(tǒng)一： 網(wǎng)絡控制可省大量配線，節(jié)省電氣、配線設計及人工成本。
• 控制統(tǒng)一 ：使用相同的驅(qū)動方法實施網(wǎng)絡控制，指令代碼類型相同，可簡化編程。
• 保養(yǎng)部件統(tǒng)一： 驅(qū)動器、電纜線等通用，可節(jié)省管理成本（部件費用、管理空間）。
• 配線統(tǒng)一： 網(wǎng)絡控制可省大量配線，節(jié)省電氣、配線設計及人工成本。
• 控制統(tǒng)一 ：使用相同的驅(qū)動方法實施網(wǎng)絡控制，指令代碼類型相同，可簡化編程。
• 保養(yǎng)部件統(tǒng)一： 驅(qū)動器、電纜線等通用，可節(jié)省管理成本（部件費用、管理空間）。
相關產(chǎn)品
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