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化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)設(shè)備應(yīng)用提案
CMP設(shè)備在轉(zhuǎn)臺上使用多個擺臂機(jī)構(gòu),比如將如拋光墊修整器等移動到位的機(jī)構(gòu)。
下面我們將為您介紹CMP機(jī)械臂機(jī)構(gòu)的課題解決方案!
機(jī)械臂機(jī)構(gòu)及主要驅(qū)動源
為保證在整個晶圓上均勻分配適量的材料,CMP工藝在材料去除過程中施加不同的力,并精確停止。 因此,為擺臂機(jī)構(gòu)提供精確定位控制非常重要,合理的選用響應(yīng)快速的驅(qū)動源,以避免拋光過多的基材。



機(jī)械臂 轉(zhuǎn)動 –— DGⅡ系列 省配線與驅(qū)動大慣性
目的:將擺臂水平移動定位,以進(jìn)行拋光或調(diào)節(jié)等操作。
中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置DGⅡ系列可直接安裝大慣性工作臺及機(jī)械臂等,可減少機(jī)構(gòu)設(shè)計、零件調(diào)配、組裝狀態(tài)調(diào)節(jié)等花費(fèi)的時間與費(fèi)用。





可驅(qū)動多種機(jī)械臂規(guī)格·大容許慣性力矩

以下為各規(guī)格可驅(qū)動的大致機(jī)械臂參考長度及負(fù)載質(zhì)量,實際選用請結(jié)合機(jī)構(gòu)尺寸及驅(qū)動條件進(jìn)行綜合選型計算,可進(jìn)一步洽詢東方馬達(dá)。





應(yīng)用:半導(dǎo)體制程(晶圓清洗設(shè)備)設(shè)備(?點(diǎn)此查看詳細(xì)介紹
旋轉(zhuǎn)平臺驅(qū)動清洗臂擺動,中空設(shè)計實現(xiàn)清洗液輸送配管可由中空部輕松通過,設(shè)計更緊湊。



一體化?大口徑中空孔設(shè)計

可直接將負(fù)載安裝在旋轉(zhuǎn)平臺上,不僅省去傳動機(jī)構(gòu),方便安裝,更能通過中空設(shè)計實現(xiàn)由下而上的配線?配管。
大口徑中空孔(貫穿)可用于布線復(fù)雜的配線、氣動及液壓配管等場合,使裝置設(shè)計更為簡潔。




引申應(yīng)用:液體分裝設(shè)備
中空設(shè)計實現(xiàn)液體輸送配管可由中空部通過,管道布置更緊湊。


小型化
DGⅡ系列備有電動機(jī)垂直組裝型、水平組裝型,可根據(jù)裝置內(nèi)的安裝空間進(jìn)行選擇。垂直組裝型可將電動機(jī)隱藏到安裝板之下,最小僅需35.5mm高度即可安裝負(fù)載。



AZ系列產(chǎn)品用于機(jī)械臂機(jī)構(gòu)的優(yōu)勢

齒條移動方向(垂直)的應(yīng)用,實現(xiàn)高反復(fù)定位精度,確保物料的準(zhǔn)確的頂升。

●網(wǎng)絡(luò)對應(yīng)

備有對應(yīng)各種網(wǎng)絡(luò)協(xié)議的驅(qū)動器與
mini驅(qū)動器。

●功能安全


搭載切斷電動機(jī)供電的STO(Safe Torque Off)功能。通過切斷電動機(jī)供電,減少裝置可動部的危險動作所帶來的風(fēng)險。
※ 請勿在運(yùn)行中使用。

   ●功能安全


電動升降機(jī)械臂的旋轉(zhuǎn)部時,可使用東方馬達(dá)的DRS2系列及EZS系列。
 DRS2系列安裝尺寸60㎜,雖機(jī)身小巧,但最大能發(fā)揮500N的推力,
適用于小型機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的升降軸。


●搭載AZ系列的便利功能

方便的運(yùn)行·設(shè)定

使用AZ系列的功能,能夠通過中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置的旋轉(zhuǎn)平臺執(zhí)行坐標(biāo)管理,可以實現(xiàn)以下運(yùn)行:

?就近絕對移動縮短生產(chǎn)周期 ?設(shè)定禁止進(jìn)入范圍使控制簡單
是指朝向設(shè)定的目標(biāo)位置,按移動距離最短的旋轉(zhuǎn)方向
執(zhí)行驅(qū)動的功能。
可縮短裝置的生產(chǎn)周期。

裝置上有障礙物等時,
可在旋轉(zhuǎn)平臺上設(shè)定禁止進(jìn)入范圍。


縮短裝置啟動時間

出廠時已預(yù)設(shè)運(yùn)行中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置所需參數(shù),可縮短裝置啟動時間。
·原點(diǎn)位置
·分辨率設(shè)定(0.01°/step)
·旋轉(zhuǎn)平臺的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)定
·Round設(shè)定±180°
●各初始設(shè)定值可以更改。



搭載產(chǎn)品

?中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置 DGII系列
中空旋轉(zhuǎn)式工作臺和αSTEP的一體化產(chǎn)品
(搭載無需電池的絕對式編碼器AZ系列)。

傳動裝置內(nèi)部為減速機(jī)構(gòu),因此可進(jìn)行高輸出功率驅(qū)動。





注意:
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助,請洽詢本公司客戶咨詢中心(電話:400-820-6516)。

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