晶圓Pin針頂升機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)提案
裝置概要
隨著半導(dǎo)體工藝發(fā)展，對設(shè)備的要求也越來越高，對每個(gè)軸的動作也愈發(fā)嚴(yán)格。小型化、高效率、高精度、低振動……眾多需求在機(jī)構(gòu)上的設(shè)計(jì)應(yīng)用，以下將為您介紹各類提案：
 *圖示僅供參考，需外置導(dǎo)軌設(shè)計(jì)
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實(shí)現(xiàn)的動作： 將吸附于平臺上的晶圓片通過Pin針頂起，以便于利用搬運(yùn)機(jī)械手進(jìn)行取、送晶圓片。
※頂起前，晶圓通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式，附著在平臺上。
• 需要頂起多片晶圓，實(shí)現(xiàn)大負(fù)載。
• 頂升機(jī)構(gòu)希望實(shí)現(xiàn)小型化。
• 提升效率，提高產(chǎn)能。
機(jī)構(gòu)痛點(diǎn)·難題
• 靜電吸附型平臺，用氣缸頂升PIN針，可能出現(xiàn)“裂片”。• 需要頂起多片晶圓，實(shí)現(xiàn)大負(fù)載。
• 頂升機(jī)構(gòu)希望實(shí)現(xiàn)小型化。
• 提升效率，提高產(chǎn)能。
點(diǎn)擊相應(yīng)“課題”查看解決方案：
●晶圓裂片/晃動、位置偏離
●空間狹小、安裝緊湊、負(fù)載重
●提升設(shè)備效率，提高產(chǎn)能
●傳感器異常、誤動作等所引起設(shè)備報(bào)錯(cuò)
課題：提升設(shè)備效率，提高產(chǎn)能
為提升生產(chǎn)效率，部分設(shè)備需要Pin針頂升、晶圓輸送等多機(jī)構(gòu)同步動作：
場景①：兩軸無法很好配合動作，存在機(jī)械干涉、碰撞等問題；
場景②：一軸完成動作后，再執(zhí)行第二軸動作，則效率較差。
因此，支持運(yùn)動網(wǎng)絡(luò)控制型的驅(qū)動控制尤為重要，可支持實(shí)現(xiàn)多軸同步聯(lián)動運(yùn)行，輕松提高動作效率。
解決方案： AZ系列對應(yīng)各種FA網(wǎng)絡(luò)的驅(qū)動器
●六軸機(jī)械臂樣機(jī)視頻
為提升生產(chǎn)效率，部分設(shè)備需要Pin針頂升、晶圓輸送等多機(jī)構(gòu)同步動作：
場景①：兩軸無法很好配合動作，存在機(jī)械干涉、碰撞等問題；
場景②：一軸完成動作后，再執(zhí)行第二軸動作，則效率較差。
因此，支持運(yùn)動網(wǎng)絡(luò)控制型的驅(qū)動控制尤為重要，可支持實(shí)現(xiàn)多軸同步聯(lián)動運(yùn)行，輕松提高動作效率。
解決方案： AZ系列對應(yīng)各種FA網(wǎng)絡(luò)的驅(qū)動器
最多可同時(shí)控制4軸的多軸驅(qū)動器
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●直接耦合上一級網(wǎng)絡(luò) 可使用1臺驅(qū)動器控制多軸。上一級網(wǎng)絡(luò)及電源的連接集中在1臺驅(qū)動器中，有助于節(jié)省配線和降低成本。 ●以統(tǒng)一的控制完成各種運(yùn)動 步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列、除各種型號齊全的標(biāo)準(zhǔn)型外，備有帶電磁制動、減速機(jī)型等產(chǎn)品，同時(shí)還備有電動機(jī)與電動傳動裝置組合的機(jī)構(gòu)產(chǎn)品。
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●六軸機(jī)械臂樣機(jī)視頻
小型·薄型的mini驅(qū)動器，讓設(shè)計(jì)自由度更高
●支持全球主要工業(yè)用網(wǎng)絡(luò)，選擇更多樣
●可收納到狹窄空間的小型化設(shè)計(jì)
?AZD-KRX為25mm
?AZD-KRX為25mm
●應(yīng)用：半導(dǎo)體制程設(shè)備（例：多腔體結(jié)構(gòu)）
①電控柜布局更緊湊*、實(shí)現(xiàn)小型化；
（如增加單元腔腔體數(shù)量，但電氣柜不會按腔體數(shù)量配套增加時(shí)，Mini驅(qū)動器更節(jié)省空間。）
②有效提升設(shè)備空間利用率。
①電控柜布局更緊湊*、實(shí)現(xiàn)小型化；
（如增加單元腔腔體數(shù)量，但電氣柜不會按腔體數(shù)量配套增加時(shí)，Mini驅(qū)動器更節(jié)省空間。）
②有效提升設(shè)備空間利用率。
搭載產(chǎn)品
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對應(yīng)EtherCAT、MECHATROLINK-Ⅲ、SSCNETⅢ/H 的多軸驅(qū)動器、 可連接本公司AZ系列DC電源輸入電動機(jī)
及搭載該電動機(jī)的電動傳動裝置。
比盒型驅(qū)動器更小。通過mini驅(qū)動器，實(shí)現(xiàn)裝置的小型化、 節(jié)能化。
可對應(yīng)電池驅(qū)動，可用于比以往更多的用途。 ?下載產(chǎn)品目錄
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
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