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首頁(yè) > 技術(shù)支持 > 解決方案一覽 > 晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案(晶圓旋轉(zhuǎn)工位)
晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案

裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高,不易產(chǎn)生交叉污染,逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機(jī)構(gòu)應(yīng)用上,東方馬達(dá)均提供強(qiáng)有力的解決方案。
通過(guò)搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品,達(dá)成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計(jì)、裝配的人力和時(shí)間成本等多項(xiàng)課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案:


系統(tǒng)構(gòu)成



晶圓旋轉(zhuǎn)工位
搭載免電池絕對(duì)式編碼器的AZX系列伺服電動(dòng)機(jī)??稍诟咚兕I(lǐng)域內(nèi)發(fā)揮高轉(zhuǎn)矩,適用于在晶圓上料后,結(jié)合不同清洗工藝的需求,對(duì)晶圓進(jìn)行搭配不同試劑、不同清洗速度的多階段清洗。




搭載免電池絕對(duì)式編碼器的伺服電動(dòng)機(jī)
AZX系列搭載了與AZ系列相同的免電池機(jī)械式絕對(duì)編碼器(ABZO傳感器)。
能夠用于定位運(yùn)行和連續(xù)運(yùn)行的伺服電動(dòng)機(jī)。


• 機(jī)械式傳感器
非通電狀態(tài)下也能夠保持位置信息
• 多回轉(zhuǎn)絕對(duì)式傳感器
可根據(jù)作為基準(zhǔn)的原點(diǎn),利用電動(dòng)機(jī)軸
檢測(cè)±900轉(zhuǎn)(1800次旋轉(zhuǎn))的絕對(duì)位置


無(wú)需外部傳感器

由于是絕對(duì)式系統(tǒng),
因此不需要原點(diǎn)傳感器、限位傳感器。

優(yōu)點(diǎn):
•提升高速原點(diǎn)返回+原點(diǎn)返回精度
•降低成本
•節(jié)省配線
•不會(huì)受到外部傳感器誤動(dòng)作的影響

無(wú)需電池

機(jī)械式編碼器不需要電池。
位置信息由ABZO傳感器以機(jī)械方式管理。

優(yōu)點(diǎn):
•無(wú)需更換電池
•海外運(yùn)輸也放心
•無(wú)需電池空間(可自由安裝驅(qū)動(dòng)器)


在高速領(lǐng)域內(nèi)發(fā)揮高轉(zhuǎn)矩
AZX系列在高速領(lǐng)域內(nèi)發(fā)揮高轉(zhuǎn)矩。適用于移動(dòng)量較多的定位用途(例:滾珠絲杠驅(qū)動(dòng))。

●AZX系列和AZ系列的轉(zhuǎn)速―轉(zhuǎn)矩特性的對(duì)比。
AZX系列在高速領(lǐng)域、AZ系列在低速領(lǐng)域具有轉(zhuǎn)矩優(yōu)勢(shì)。

網(wǎng)絡(luò)對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)器
驅(qū)動(dòng)器支持EtherCAT、EtherNet/IP、PROFINET??墒褂?根通信電纜線連接上一級(jí)控制器與驅(qū)動(dòng)器,因此,節(jié)省配線。


基本操作方法與AZ系列相同
AZX系列的基本操作方法與AZ系列相同。
在同一裝置內(nèi)同時(shí)使用AZX系列和AZ系列時(shí),可減少操作方法變更帶來(lái)的麻煩。



搭載產(chǎn)品

?伺服電動(dòng)機(jī) AZX系列
搭載免電池絕對(duì)式編碼器的伺服電動(dòng)機(jī)。
可在高速領(lǐng)域內(nèi)發(fā)揮高轉(zhuǎn)矩,適用于移動(dòng)量較多的定位用途。
基本操作方法與AZ系列相同,因此便于在裝置內(nèi)一起使用。





注意:
本資料僅供參考。選購(gòu)前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助,請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心(電話:400-820-6516)。

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