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首頁 > 技術(shù)支持 > 解決方案一覽 > 晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案(控制方式)
晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案

裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高,不易產(chǎn)生交叉污染,逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機(jī)構(gòu)應(yīng)用上,東方馬達(dá)均提供強(qiáng)有力的解決方案。
通過搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品,達(dá)成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計(jì)、裝配的人力和時間成本等多項(xiàng)課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案:


系統(tǒng)構(gòu)成




控制方式
一臺多軸驅(qū)動器
αSTEPAZ系列多軸驅(qū)動器,可連接2-4軸??蓪Ⅱ?qū)動器集合成1臺, 可節(jié)省連接上位的連接電纜線及電源電纜線,從而節(jié)省配線。


配置自由度高的小型驅(qū)動器
在自制機(jī)器人時,也需要重視驅(qū)動器尺寸。小型化的驅(qū)動器可以不受電控柜位置的空間限制,在有限的空間中自由設(shè)置。例如可在電動機(jī)的旁邊設(shè)置驅(qū)動器,縮短電動機(jī)電纜線、節(jié)省配線,提高生產(chǎn)現(xiàn)場的整潔度,同時還節(jié)省了電控柜的空間,推進(jìn)設(shè)備整體小型化,提高設(shè)備空間利用率。
?點(diǎn)此查看AZ系列mini驅(qū)動器詳情

協(xié)助您從產(chǎn)品選定到裝置設(shè)計(jì)
您可以通過我司的在線電動機(jī)選型軟件進(jìn)行自主選型計(jì)算。
除此之外,也可通過委托東方馬達(dá)工作人員進(jìn)行選型計(jì)算,并介紹與之相配的配件。


注意:
*本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
*如需幫助,請洽詢本公司客戶咨詢中心(電話:400-820-6516)。

*啟動機(jī)器人前客戶應(yīng)負(fù)責(zé)事先對機(jī)器人實(shí)施充分的安全確認(rèn)。對于機(jī)器人系統(tǒng)整體的安全性,本公司不承擔(dān)任何責(zé)任。
*需要客戶按照實(shí)際使用條件進(jìn)行編程,本公司無法提供編程服務(wù)。


高性價比的控制器,免費(fèi)的軟件
機(jī)器人控制器MRC01搭載了機(jī)器人動作必要的基本功能,且性價比高。此外,備有專用的編程軟件MRC Studio可免費(fèi)下載。即使沒有編程等專業(yè)知識也可直觀地輸入程序。
?點(diǎn)此查看機(jī)器人控制器MRC01詳細(xì)介紹

?點(diǎn)此下載編程軟件 MRC Studio


備有體驗(yàn)MRC Studio操作性的體驗(yàn)版。沒有MRC01也可使用,在線3D模擬中確認(rèn)動作。
?點(diǎn)此下載編程軟件 MRC Studio體驗(yàn)版
協(xié)助您從產(chǎn)品選定到裝置設(shè)計(jì)
您可以通過我司的在線電動機(jī)選型軟件進(jìn)行自主選型計(jì)算。
除此之外,也可通過委托東方馬達(dá)工作人員進(jìn)行選型計(jì)算,并介紹與之相配的配件。



以統(tǒng)一的控制完成各種運(yùn)動
步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列、除各種型號齊全的標(biāo)準(zhǔn)型外還備有帶電磁制動、減速機(jī)型等產(chǎn)品。此外,還備有電動機(jī)與電動傳動裝置組合的機(jī)構(gòu)產(chǎn)品。共通的電動機(jī)、電纜線,使得配線、控制、維護(hù)部件均統(tǒng)一,可縮短裝置完成所需的時間

點(diǎn)擊以下鏈接查看相關(guān)產(chǎn)品詳細(xì):


DRS2?3????
電動滑臺
?EZS系列
?EAS系列
?電動缸
EAC系列
小型電動缸
?DR系列
?DRS2系列
?中空旋轉(zhuǎn)式
傳動裝置
DGII系列
齒輪·齒條系統(tǒng)
?L系列

?LJ直線減速機(jī)
?電動夾爪
EH系列

統(tǒng)一的優(yōu)點(diǎn):
配線統(tǒng)一
I/O的端子分配相同,可節(jié)省電氣設(shè)計(jì)、配線的設(shè)計(jì)及人工成本。
控制統(tǒng)一
控制方法相同,可使用相同的使用方法實(shí)施控制。此外,網(wǎng)絡(luò)控制時,遠(yuǎn)程I/O及指令代碼相同??珊喕幊坛绦?。
保養(yǎng)部件統(tǒng)一
電動機(jī)、驅(qū)動器、電纜線等通用,可將保養(yǎng)部件控制到最低。可節(jié)省管理成本(部件費(fèi)用、管理空間)。



無需外部傳感器,減少了相關(guān)問題發(fā)生


AZ系列搭載機(jī)械式絕對編碼器(ABZO編碼器)實(shí)時管理位置信息,可省去原點(diǎn)返回所需的外部傳感器。此裝置為5軸驅(qū)動,因此5軸均無需外部傳感器。 不僅節(jié)省了部件成本及減少了配線時間,而且因減少了斷線、誤檢等傳感器相關(guān)問題的發(fā)生,從而有助于整體的成本降低。




縮短多軸的原點(diǎn)返回時間
AZ系列搭載無需電池的機(jī)械式絕對編碼器(ABZO編碼器)。定位運(yùn)行中,即使電源非正常停止或發(fā)生停電,也能保持位置信息。而且,即使需要回原點(diǎn)也無需使用外部傳感器,因此可實(shí)現(xiàn)高速回原點(diǎn)。
?點(diǎn)此觀看無需電池的絕對定位介紹視頻

搭載產(chǎn)品

?αSTEP AZ系列

基于閉環(huán)控制實(shí)現(xiàn)高可靠性,借助高效率化,大幅降低電動機(jī)發(fā)熱,

無需在意驅(qū)動占空比,實(shí)現(xiàn)短距離反復(fù)定位。




?αSTEPAZ系列多軸驅(qū)動器

對應(yīng)EtherCAT、MECHATROLINK-Ⅲ、SSCNETⅢ/H 的多軸驅(qū)動器、

可連接本公司AZ系列DC電源輸入電動機(jī) 及搭載該電動機(jī)的電動傳動裝置。
軸數(shù):雙軸、3軸、4軸




比盒型驅(qū)動器更小。通過mini驅(qū)動器,實(shí)現(xiàn)裝置的小型化、 節(jié)能化。
可對應(yīng)電池驅(qū)動,可用于比以往更多的用途。



注意:
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助,請洽詢本公司客戶咨詢中心(電話:400-820-6516)。

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