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晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案

裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高,不易產(chǎn)生交叉污染,逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機構(gòu)應(yīng)用上,東方馬達均提供強有力的解決方案。
通過搭載步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品,達成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計、裝配的人力和時間成本等多項課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案:


系統(tǒng)構(gòu)成




晶圓上、下料工位——SCARA機器人應(yīng)用
自制SCARA機器人常用于取放工作物、實現(xiàn)設(shè)備之間的搬送自動化,用以替代以往需要人工進行的連結(jié)、測量、組裝等手工作業(yè)產(chǎn)線,在有限的空間中實現(xiàn)簡易、高效的取放及設(shè)備間的自動化搬送。




小型化電動機、模組產(chǎn)品的組合應(yīng)用,實現(xiàn)機器人小型化

Axis1

采用全長較短的EZS系列折返型電動滑臺,有利于節(jié)省裝置的空間,
實現(xiàn)了裝置的小型化設(shè)計,可滿足產(chǎn)線的裝置寬度限制。
(另可詳見CUP裝置升降工位的介紹。)





Axis2

SCARA機器人在抓取距軸端較遠的機械臂前端工作物時,高剛性的DGⅡ系列中空旋轉(zhuǎn)平臺可提供高容許轉(zhuǎn)矩和容許慣性力矩,因此有助于擴大機械臂的可動范圍。(另可詳見擺臂工位--旋轉(zhuǎn)軸的介紹。)




可根據(jù)安裝空間選擇電動機垂直組裝型或水平組裝型,電動機水平組裝型無需加工電動機的安裝用預(yù)留槽,簡化安裝板。




Axis3、4

中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置DGII系列全新電動機水平方向(薄型)有助于省空間。 實現(xiàn)水平多關(guān)節(jié)機器人整體的薄型化。




薄型機器人

DGⅡ系列薄型在機器人關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)應(yīng)用,壓縮了機器人整體的高度,使得機器人更加小型、薄型。



輕松導(dǎo)入自制機器人

機器人控制器通過“初始設(shè)定”、“動作編程”、“動作確認”3 步,可輕松導(dǎo)入、控制自制機器人??煽刂剖褂昧嘶旌峡刂葡到y(tǒng)αSTEP AZ系列/搭載AZ系列電動傳動裝置的自制機器人。
MRC01可以通過編程軟件MRC Studio設(shè)定的動作程序,僅用電腦輕松進行示教、動作確認。

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免費的編程軟件,快速上手掌握控制
備有機器人控制器MRC01。使用其專用的編程軟件MRC Studio,即使無編程經(jīng)驗,也可馬上進行編程·控制。通過使用MRC01,降低了編程·控制的難度,有助于自制機器人的順利研發(fā)。

約30分鐘即可掌握

即使無機器人控制經(jīng)驗,也可約10分鐘進行初始設(shè)定,約20分鐘掌握編程,總共花大約30分鐘掌握MRC Studio的使用方法。

機器人編程、控制簡單

為了讓無機器人控制經(jīng)驗的客戶也能編程,使用了直觀表現(xiàn)動作的動作指令按鈕圖標。
即使沒有上位控制器,通過直接I/O亦可驅(qū)動程序。

指令使用了直觀體現(xiàn)動作的圖標
圓弧的動作,僅需選擇指令后在坐標中輸入

機器人類型多樣化選擇

以向?qū)问竭M行機器人類型的選擇和機構(gòu)信息的輸入等一系列初始設(shè)定,通過邊看圖解邊按照指導(dǎo)說明進行設(shè)定、選擇。目前可支持32種機器人類型的選用。
機器人類型多樣化選擇






輕松選用機器人類型
大幅降低前期機器人模型搭建的算法構(gòu)建難題,簡便選用合適的模型,提高自制機器人研發(fā)效率。



搭載產(chǎn)品





?機器人控制器MRC01

機器人控制器通過“初始設(shè)定”、“動作編程”、“動作確認”3 步,
可輕松導(dǎo)入、控制自制機器人。
可控制使用了αSTEP AZ系列/搭載AZ系列電動傳動裝置的自制機器人。



?電動滑臺 EZS系列
小型、高剛性、低發(fā)塵量的電動滑臺。

通過電動滑臺實現(xiàn)步進電動機的高響應(yīng)、低振動、無微振運行。

產(chǎn)品陣容豐富,包括直線型、折返型、無塵室對應(yīng),可根據(jù)裝置空間、環(huán)境選用。




?中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置 DGII系列
中空旋轉(zhuǎn)式工作臺和αSTEP的一體化產(chǎn)品
(搭載無需電池的絕對式編碼器AZ系列)。

傳動裝置內(nèi)部為減速機構(gòu),因此可進行高輸出功率驅(qū)動。




?αSTEP AZ系列
搭載新研發(fā)的ABZO編碼器,無需電池就能實現(xiàn)絕對方式的定位。
驅(qū)動方式有脈沖序列型和可實現(xiàn)I/O控制的內(nèi)藏定位型供選擇。
備有諧波減速機型等,產(chǎn)品種類豐富。






注意:
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助,請洽詢本公司客戶咨詢中心(電話:400-820-6516)。

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