晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案
裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高，不易產(chǎn)生交叉污染，逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機構(gòu)應(yīng)用上，東方馬達均提供強有力的解決方案。通過搭載步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品，達成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計、裝配的人力和時間成本等多項課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案：
噴淋/清洗裝置擺臂工位——升降軸
通過組合高精度的αSTEP AZ系列和滾珠螺桿，在擺臂升降工位上提供了高精度定位的DRS2系列小型電動缸應(yīng)用方案，與自行組裝的機構(gòu)相比，裝置全長縮短、更緊湊。
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適用于微小移動量·高精度定位
| 中空轉(zhuǎn)子和滾珠螺桿螺母一體化的緊小型機體，可實現(xiàn)裝置的小型化。 由于不需要連接部件，減少因聯(lián)軸器等連結(jié)部件而產(chǎn)生的精度影響，實現(xiàn)更高精度的定位。 ●驅(qū)動螺桿分為研磨滾珠螺桿和滾軋滾珠螺桿2種 【最小移動量】0.001mm 【反復(fù)定位精度】 研磨滾珠螺桿：±0.003mm 滾軋滾珠螺桿：±0.01mm
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減少連結(jié)部件，實現(xiàn)省空間化
無需直線導(dǎo)軌和連軸器等連結(jié)零件，設(shè)備整體得以小型化。相較于自行組裝的機構(gòu)，所需的零部件大大減少。
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節(jié)省設(shè)計與空間 安裝于旋轉(zhuǎn)平臺上驅(qū)動機械臂的升降， 一體化的小型電動缸實現(xiàn)簡潔設(shè)計， 無需過多的配件設(shè)置，機構(gòu)緊湊。 |
免傳感器，無需另設(shè)空間
搭載混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列，除了實現(xiàn)裝置的小型化、輕量化外，還能夠檢測管理位置信息、無需原點傳感器、限位傳感器等，節(jié)省了傳感器及配線的設(shè)置，達到省成本和空間的目的。
斷電時保護的帶電磁制動
電源OFF時，保持停止位置。帶電磁制動規(guī)格的采用，
即使垂直安裝，也不必?fù)?dān)心維護作業(yè)中工作物掉落。
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搭載產(chǎn)品
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?小型電動缸DR系列（搭載αSTEP AZ系列） 因此無需原點傳感器、限位傳感器等外部傳感器。
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?小型電動缸DRS2系列（搭載αSTEP AZ系列）
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
