晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案
裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高，不易產(chǎn)生交叉污染，逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機(jī)構(gòu)應(yīng)用上，東方馬達(dá)均提供強(qiáng)有力的解決方案。通過(guò)搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品，達(dá)成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計(jì)、裝配的人力和時(shí)間成本等多項(xiàng)課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案：
CUP裝置升降工位
絲杠帶適配器是由滑動(dòng)絲杠和樹(shù)脂螺母組成的直線動(dòng)作機(jī)構(gòu)，可輕松搭載本司步進(jìn)電動(dòng)機(jī)實(shí)現(xiàn)高推力、高速、自鎖力等特性，有助于改善裝置的生產(chǎn)節(jié)拍。與自行組裝的結(jié)構(gòu)相比，減少設(shè)計(jì)工時(shí)、節(jié)省空間，實(shí)現(xiàn)機(jī)構(gòu)的小型化。
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開(kāi)環(huán)控制的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)·無(wú)需增益調(diào)整的多軸同步運(yùn)行
電動(dòng)機(jī)本體是被設(shè)計(jì)僅用控制器、驅(qū)動(dòng)器和電動(dòng)機(jī)構(gòu)成開(kāi)環(huán)控制方式就可以簡(jiǎn)單地進(jìn)行“高精度定位運(yùn)行”的同步電動(dòng)機(jī)，具有高響應(yīng)性和高指令跟隨性的特點(diǎn)。
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故對(duì)機(jī)構(gòu)剛性無(wú)要求，無(wú)需增益調(diào)整，可實(shí)現(xiàn)與輸入的動(dòng)作指令同步運(yùn)行。
只需運(yùn)動(dòng)指令同步輸入，多臺(tái)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)可進(jìn)行幾乎相同的運(yùn)行，同步升降CUP裝置。
查看同步性演示視頻：
自鎖結(jié)構(gòu)·節(jié)省額外的制動(dòng)器設(shè)計(jì)
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自鎖力*最大100N（安裝尺寸42mm 導(dǎo)程2mm），可用于保持負(fù)載。 可用于防止因自重而掉落、移動(dòng)等負(fù)載保持用途。 *從外部移動(dòng)螺母時(shí)，由于摩擦的關(guān)系，絲杠軸無(wú)法動(dòng)作的現(xiàn)象稱為自鎖。
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* 搭載AZ系列步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的組合使用方式，詳情請(qǐng)另洽詢。
搭載機(jī)械式絕對(duì)編碼器的AZ系列·實(shí)現(xiàn)絕對(duì)坐標(biāo)位置管理
絕對(duì)式系統(tǒng)位置管理，支持重新上電后的絕對(duì)坐標(biāo)記憶，無(wú)需電池、傳感器等配件，支持軟極限設(shè)置、內(nèi)藏定位程序運(yùn)行等。
有助于提升生產(chǎn)效率、節(jié)省安裝空間、降低成本。 |
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查看絕對(duì)式應(yīng)用演示視頻：
■原點(diǎn)輕松設(shè)置、高速原點(diǎn)返回十分高效簡(jiǎn)便
| 應(yīng)用情景： 高精密微調(diào)：確認(rèn)裝置當(dāng)前位置狀態(tài)，支持高精度位置微調(diào)； 輕松復(fù)位：斷電后各軸若因外力不同引起不同的變位量，支持多軸簡(jiǎn)易的同步絕對(duì)定位復(fù)位。 |
■采用小型電動(dòng)缸·空間利用更出色
αSTEP與滾珠絲杠一體化的緊小型機(jī)體，可實(shí)現(xiàn)裝置設(shè)計(jì)小型化、省空間化。
DRS2系列
可減少部件數(shù)量，節(jié)省空間，縮短組裝及安裝精度等的調(diào)節(jié)時(shí)間?？稍诟虝r(shí)間內(nèi)研發(fā)裝置。
搭載產(chǎn)品
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?絲杠帶適配器 |
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?DRS2系列（搭載αSTEP AZ系列） |
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?步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
注意：
本資料僅供參考。選購(gòu)前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購(gòu)前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
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