晶棒生長設(shè)備
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步進電動機助力晶棒緩慢生長的應(yīng)用 |
小型化 、 大容許
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晶棒生長設(shè)備：穩(wěn)定低速的對晶棒進行提拉和旋轉(zhuǎn)
設(shè)備：晶棒生長設(shè)備機構(gòu)：電動機卷繞提拉與直連旋轉(zhuǎn)機構(gòu) 動作概況：通過兩臺電動機配合動作，輔助晶棒生長。 ①一臺電動機通過繩索緩慢提拉已經(jīng)長成的晶棒，輔助晶棒生長后的提??； ②另一臺電動機帶動提拉工位和提拉著的晶棒原地旋轉(zhuǎn)，確保生長平面的均勻度。 |
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步進電動機諧波減速機 |
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配備諧波減速機一體化，實現(xiàn)小型化與穩(wěn)定控制
■集減速機+步進電動機+編碼器一體化的高精密步進電動機，實現(xiàn)動力機構(gòu)設(shè)計更小型化。
伺服電動機的減速機靠聯(lián)軸器聯(lián)結(jié)，步進電動機減速機型實現(xiàn)一體化、省空間，緊湊簡潔的設(shè)計且無需調(diào)整可輕易掌握「齒隙」及「精度」。
■掌握溫度變化，有助于預(yù)知保全。
預(yù)防由環(huán)境溫度、電動機運行狀況等所引發(fā)的“電動機過熱”報警輸出，避免因溫度報警導(dǎo)致意外停機而影響長晶。
可根據(jù)INFO輸出進行提前干預(yù)。
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大減速比諧波減速機，提高大容許轉(zhuǎn)矩與慣量
■輸出大轉(zhuǎn)矩與大轉(zhuǎn)動慣量晶棒的長度和質(zhì)量隨著晶棒的生長而隨之增加（參考：12寸成型晶棒的長度約2-3m，質(zhì)量可達(dá)400kg以上。），
因此在提拉和旋轉(zhuǎn)動作后期，均需要克服較大的負(fù)載轉(zhuǎn)矩和負(fù)載轉(zhuǎn)動慣量進行驅(qū)動。
諧波減速機型安裝尺寸90mm最大勵磁轉(zhuǎn)矩：
（單位：10^-7kg·m^2)
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晶棒的生長速度緩慢： 大幅提升負(fù)載轉(zhuǎn)矩和容許轉(zhuǎn)動慣量； 在晶棒生長應(yīng)用上，充分發(fā)揮了減速機型步進電動機低轉(zhuǎn)速、 高轉(zhuǎn)矩的優(yōu)勢。
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連續(xù)運行與滿足需求的速度區(qū)間
■連續(xù)運行*（高頻度運行），適合晶棒長時間的生長過程應(yīng)用。
| 通過采用高效率電動機， 大幅減少了電動機的發(fā)熱 和耗電量，實現(xiàn)連續(xù)運行*。 |
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可實現(xiàn)高頻度運行與連續(xù)驅(qū)動*電動機。
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■搭配高減速比，仍備有一定的速度區(qū)間，確保晶棒在生長提拉過程和生長完成后繩索下放時的高、低速切換應(yīng)用。
相關(guān)產(chǎn)品
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αSTEP AZ系列 搭載新研發(fā)的ABZO編碼器，無需電池就能實現(xiàn)絕對方式的定位。 驅(qū)動方式有脈沖序列型和可實現(xiàn)I/O控制的內(nèi)藏定位型供選擇。產(chǎn)品種類豐富。
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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