步進(jìn)電動機(jī)EtherCAT
探針功能（Touch probe ）的檢測應(yīng)用
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晶圓傳送盒設(shè)備：晶圓放置狀態(tài)的輔助判斷 |
簡化控制、提高效率
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晶圓傳送盒設(shè)備：晶圓放置狀態(tài)的輔助判斷
設(shè)備：晶圓傳送盒機(jī)構(gòu)：螺桿機(jī)構(gòu) 動作概況：通過螺桿機(jī)構(gòu)帶動晶圓上、下移動動作，期間利用盒內(nèi)的傳感器進(jìn)行晶圓放置狀態(tài)的輔助判斷，便于下一工位的取料操作。 痛點(diǎn)：以往控制為上位連接傳感器，上位收到信號后，再向驅(qū)動器查詢當(dāng)前位置， 根據(jù)查詢的位置進(jìn)行判斷結(jié)論。 上位讀取的位置由于信號傳送、程序響應(yīng)等因素，相對實(shí)際情況存在滯后且耗時(shí)， 影響提高效率。 |
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利用探針功能將位置鎖存讀取， 上位更精準(zhǔn)、高效 |
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探針功能（Touch probe ）
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探針功能（Touch probe ）：
Touch probe 是指將外部鎖存輸入信號（EXT1 輸入、EXT2 輸入）或輸出信號（ZSG 輸出、TIM 輸出）作為觸發(fā)，對輸入觸發(fā)時(shí)的位置進(jìn)行鎖存的功能。 |
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外部傳感器信號直接輸入驅(qū)動器，驅(qū)動器接收到傳感器信號上升沿與下降沿的輸出后，利用AZ系列EtherCAT通訊中的Touch probe功能對上升沿、下降沿觸發(fā)時(shí)的位置進(jìn)行鎖存。 上位根據(jù)通訊周期的處理周期，直接周期性讀取鎖存位置進(jìn)行應(yīng)用。
時(shí)序示意圖：
上位通過EtherCAT通訊直接讀取EXT1信號上升沿與下降沿鎖存位置信息的差值乘以電動機(jī)步距角，即可得出測量晶圓的厚度情況進(jìn)行相關(guān)生產(chǎn)的輔助判斷應(yīng)用。
例如：
A的厚度=（P2-P1）*電動機(jī)步距角
B的厚度=（P4-P3）*電動機(jī)步距角
C的厚度=（P6-P5）*電動機(jī)步距角
例如：
A的厚度=（P2-P1）*電動機(jī)步距角
B的厚度=（P4-P3）*電動機(jī)步距角
C的厚度=（P6-P5）*電動機(jī)步距角
簡化上位的程序、實(shí)現(xiàn)更高效的判斷，優(yōu)化控制程序
AZ系列多種支持EtherCAT通訊的驅(qū)動器選擇
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AZ系列備有多樣化的驅(qū)動器類型，其中包括有多軸、雙軸、單軸與Mini驅(qū)動器，以便適應(yīng)多種應(yīng)用場合的選用。
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相關(guān)產(chǎn)品
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αSTEP AZ系列 搭載新研發(fā)的ABZO編碼器，無需電池就能實(shí)現(xiàn)絕對方式的定位。 驅(qū)動方式有脈沖序列型和可實(shí)現(xiàn)I/O控制的內(nèi)藏定位型供選擇。產(chǎn)品種類豐富。 |