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多工位移載加工設(shè)備

裝置概要
以半導(dǎo)體常見的多工位設(shè)備為例,介紹上下料工位、移載工位、加工工位中使用東方馬達(dá)產(chǎn)品的解決方案。
通過全部使用搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列的產(chǎn)品,在達(dá)成小型化、高精度的前提下,統(tǒng)一控制方式。
有助于節(jié)省設(shè)計(jì)、裝配的人力和時(shí)間成本。


系統(tǒng)構(gòu)成





加工工位
通過采用步進(jìn)電動(dòng)機(jī)和滾珠螺桿一體化的小型電動(dòng)缸,與自行組裝的機(jī)構(gòu)相比,裝置全長縮短。




 


特別適用于微小移動(dòng)量·高精度定位
中空轉(zhuǎn)子和滾珠螺桿螺母一體化。
由于不需要連接部件,因此,很少會(huì)出現(xiàn)因聯(lián)軸器等部件組合而產(chǎn)生的精度影響,可實(shí)現(xiàn)更高精度的定位。

驅(qū)動(dòng)螺桿分為研磨滾珠螺桿和滾軋滾珠螺桿2種
【最小移動(dòng)量】0.001mm
【反復(fù)定位精度】
研磨滾珠螺桿:±0.003mm 
滾軋滾珠螺桿:±0.01mm



減少連結(jié)部件,節(jié)省空間

無需直線導(dǎo)軌和連軸器等連結(jié)零件,使得設(shè)備整體得以小型化。相較于自行組裝的機(jī)構(gòu),所需的零部件大大減少。




多樣化的安裝方式
安裝方法多樣,能夠較大限度靈活選擇安裝方式以對(duì)應(yīng)受限的空間。
使用多臺(tái)時(shí),可以緊密安裝搭建微小XYZ工作臺(tái)*,能夠縮短設(shè)備的寬度。
*具體選購搭建方案,詳情需咨詢東方馬達(dá)以選型評(píng)估確認(rèn)。

            以工作臺(tái)型推桿型為例

           ※ 材質(zhì):鋁 表面處理:無



免傳感器,無需另設(shè)空間
搭載混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列,采用小型機(jī)體實(shí)現(xiàn)裝置的小型化、輕量化之外,
還搭載ABZO機(jī)械式編碼器,能夠檢測管理位置信息,因此無需原點(diǎn)傳感器,當(dāng)然也省略了傳感器所需的配線,
達(dá)到節(jié)省成本和空間的目的。



搭載產(chǎn)品

?小型電動(dòng)缸DR系列(搭載αSTEP AZ系列)
滾珠螺桿與步進(jìn)電動(dòng)機(jī)組合的直動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)裝置。實(shí)現(xiàn)了裝置的小型化、輕量化。
驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)搭載混合控制系統(tǒng)αSTEPAZ系列,
AZ系列采用無需電池的絕對(duì)式編碼器(ABZO編碼器),因此無需原點(diǎn)傳感器、
限位傳感器等外部傳感器。





注意:
本資料僅供參考。選購前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助,請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心(電話:400-820-6516)。

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