晶圓片檢測設備
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如何縮短半導體晶圓片的檢測時間？ |
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過去的問題點
對晶圓片進行多角度檢測，皮帶驅動的轉盤需要頻繁穩(wěn)定啟停。而使用伺服電動機來驅動皮帶時，停止時會出現頻繁振動的情況， 影響檢測效率。且圓盤慣量較大，難以進行增益調整。 如何解決因為頻繁啟停帶來的振動問題呢？ |
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混合控制系統αSTEP AZ系列 | 
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無微振，保持停止位置。
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伺服電動機運行時通過對比控制器發(fā)出的脈沖信號和驅動器發(fā)出的反饋信號，將二者誤差控制為零，實現對電動機的控制。因而在皮帶等低剛性機構中，由于需要整定，振動會比較明顯。而AZ系列定位時無微振，可以通過電動機自身保持力停止，適用于皮帶機構等低剛性機構。
在應用于檢測機構時，如下圖所示，使用步進電動機驅動時無需整定時間，有助于高效率檢測。
高轉矩
AZ系列的高轉矩使得到達指定的位置的時間更短，優(yōu)越的加速性和響應性能夠有效加快工作節(jié)拍，在頻繁啟停的檢測過程中，有助于提高效率。
 無需傳感器
AZ系列采用免電池的絕對式機械編碼器。
 絕對式系統無需原點傳感器、限位傳感器等外部傳感器。因此在排線布線的設計安裝上會有更大的自由空間，省時省力，減輕成本負擔。
相關產品
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