首頁 > 技術(shù)支持 > 解決方案一覽 > 擺臂機(jī)構(gòu)--如何提高半導(dǎo)體設(shè)備中擺臂機(jī)構(gòu)性能，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確滴膠？
擺臂機(jī)構(gòu)
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如何提高半導(dǎo)體設(shè)備中擺臂機(jī)構(gòu)性能， 實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確滴膠？ |
設(shè)備
擺臂機(jī)構(gòu)存在的問題
在使用擺臂機(jī)構(gòu)對半導(dǎo)體零部件如硅晶片等昂貴制品進(jìn)行滴膠作業(yè)時(shí)，常會(huì)遇到定位不準(zhǔn)，導(dǎo)致涂膠、化學(xué)液刻蝕不均勻，造成制品廢品率較高的情況。| 1、精度不足 機(jī)構(gòu)精度不足時(shí)，無法準(zhǔn)確定位，偏離原定位置， 無法將化學(xué)試劑滴在指定位置。 
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2.運(yùn)行時(shí)振動(dòng)影響 機(jī)構(gòu)在運(yùn)行時(shí)振動(dòng)較大，導(dǎo)致膠液誤滴， 影響均勻涂布/刻蝕。  |
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中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置 DGⅡ系列 | 
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通過改善機(jī)構(gòu)以及電動(dòng)機(jī)精度，提高整體精度，減少定位不準(zhǔn)帶來的影響。
減少運(yùn)行、停止時(shí)的微振
| DGII系列搭載了混合控制系統(tǒng)αstep AZ系列定位電動(dòng)機(jī)。 AZ系列采取的獨(dú)特控制方式兼具了開環(huán)控制和閉環(huán)控制的優(yōu)點(diǎn)， 定位時(shí)無微振，通過電動(dòng)機(jī)自身保持力停止。 且配備了微步驅(qū)動(dòng)、平滑驅(qū)動(dòng)功能， 能夠抑制低速狀態(tài)下的振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平滑動(dòng)作。 
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精度更高
DGII系列實(shí)現(xiàn)了機(jī)構(gòu)與步進(jìn)電動(dòng)機(jī)一體化，可將滴膠的擺臂機(jī)構(gòu)直接安裝在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上。相較于使用皮帶輪等機(jī)構(gòu)而言，可大幅提高精度。且DGⅡ系列無齒隙，反復(fù)定位精度可達(dá)±0.004°
且AZ系列采用無需電池的絕對式系統(tǒng)，不需要原點(diǎn)傳感器、限位傳感器等外部傳感器。能有效避免受外界影響導(dǎo)致的傳感器誤動(dòng)作。
DGII系列用于此類擺臂機(jī)構(gòu)還有什么優(yōu)勢？
除了能滿足精度和振動(dòng)需求之外，DGII系列還具有以下優(yōu)勢。
構(gòu)造設(shè)計(jì)和配線更簡潔
DGII系列的大口徑中空孔構(gòu)造，能夠使膠管等貫穿，構(gòu)造設(shè)計(jì)和配線都更加簡潔。
搭載的AZ系列電動(dòng)機(jī)無需外部傳感器和電池，且電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)一體化產(chǎn)品，可有效減少機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、零件調(diào)配、皮帶狀態(tài)調(diào)節(jié)等所需的時(shí)間及費(fèi)用。
大慣量高負(fù)載，以小型機(jī)身輸出高轉(zhuǎn)矩，具備優(yōu)越的加速性和響應(yīng)性，加快工作節(jié)拍，提升加工效率。
相關(guān)產(chǎn)品
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