半導(dǎo)體設(shè)備小型化-緊湊而高效的未來制造解決方案
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半導(dǎo)體設(shè)備小型化 緊湊而高效的未來制造解決方案 |
| 東方馬達(dá)深耕半導(dǎo)體行業(yè)30年，見證并助力設(shè)備技術(shù)的每一次升級。隨著制程精度逼近物理極限、封裝工藝復(fù)雜度持續(xù)攀升，設(shè)備小型化已成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵命題：前后道設(shè)備協(xié)同更為緊密，搬運與定位精度成為決定良率的核心因素；同時，潔凈室空間有限，對設(shè)備體積和布局提出極高要求…… 面對這一系列挑戰(zhàn)，東方馬達(dá)憑借精密運動控制技術(shù)，提供高集成、小型化的驅(qū)動解決方案，助力半導(dǎo)體設(shè)備突破空間瓶頸，為行業(yè)創(chuàng)新賦能。 |
點擊查看相關(guān)解決方案:
| ?①指甲蓋大小的 步進(jìn)電動機(jī) |
?②檸檬般大小的 驅(qū)動器 |
?③比手指還短的 小型電動缸 |
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①指甲蓋大小的步進(jìn)電動機(jī) |
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安裝面如指甲蓋大
? 13mm微小型安裝尺寸
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實現(xiàn)業(yè)界13mm微小型安裝尺寸。
有助于機(jī)械臂的末端執(zhí)行器等裝置的小型化·輕量化。
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厚度竟如指甲蓋寬
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◇薄型、輕量
薄型化的電動機(jī)，在狹窄空間也可安裝。  |
◇帶諧波減速機(jī)
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減速機(jī)型一體化
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◇一體化
集減速機(jī)+步進(jìn)電動機(jī)+編碼器一體化的 高精密步進(jìn)電動機(jī)，實現(xiàn)動力機(jī)構(gòu)設(shè)計小型化。  |
◇節(jié)省空間
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解決方案應(yīng)用
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②檸檬般大小的驅(qū)動器 |
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東方馬達(dá)提供Mini&多軸·薄型驅(qū)動器方案，大大有效改善空間利用率。
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支持全球主要工業(yè)用網(wǎng)絡(luò)，選擇豐富且多樣。讓控制柜設(shè)計精益求精。
解決方案應(yīng)用
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③比手指還短的小型電動缸 |
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頂升機(jī)構(gòu)的設(shè)計十分普遍，搭載步進(jìn)電動機(jī)的小型電動缸，在發(fā)揮模組化、小型化優(yōu)勢的同時，也為升降裝置提供了驅(qū)動平滑、穩(wěn)定性強、高精度的高可控性解決方案。
升降·頂升
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【位置管理】機(jī)械式絕對編碼器（ABZO傳感器）
【最小移動量】0.001mm 【反復(fù)定位精度】研磨滾珠絲杠：±0.003mm  |
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解決方案應(yīng)用
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?②檸檬般大小的 驅(qū)動器 |
?③比手指還短的 小型電動缸 |
注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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