濕法工藝的半導體制造設備
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CUP升降工位的多軸同步簡易設計應用 |
多軸同步、提高效率、省空間
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CUP裝置升降工位：兼顧小型化、同步性的升降CUP裝置
設備：濕法工藝的半導體制造設備工位：CUP裝置升降工位 解決方案：步進電動機 & 絲杠帶適配器 ●同步性 ●絕對式編碼器 ●簡易的高速原點返回 ●小型化&簡易自鎖 新品上市：絲杠帶適配器
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步進電動機 & 絲杠帶適配器 |
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多軸同步升降，步進電動機控制更優(yōu)越
■開環(huán)控制的步進電動機·無需增益調整的多軸同步運行
電動機本體是被設計僅用控制器、驅動器和電動機構成開環(huán)控制方式就可以簡單地進行“高精度定位運行”的同步電動機，具有高響應性和高指令跟隨性的特點。
只需運動指令同步輸入，多臺步進電動機可進行幾乎相同的運行，同步升降CUP裝置。
查看同步性演示視頻：
絕對坐標管理，應用控制更靈活
■機械式絕對編碼器·實現絕對坐標位置管理絕對式系統(tǒng)位置管理，支持重新上電后的絕對坐標記憶，無需電池、傳感器等配件，支持軟極限設置、內藏定位程序運行等。
有助于提升生產效率、節(jié)省安裝空間、降低成本。 |
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■原點輕松設置、高速原點返回十分高效簡便
查看絕對式應用演示視頻：
| 應用情景： 高精密微調：確認裝置當前位置狀態(tài)，支持高精度位置微調； 輕松復位：斷電后各軸若因外力不同引起不同的變位量，支持多軸簡易的同步絕對定位復位。 |
活用結構化產品，設計更小型·簡潔緊湊
■活用絲杠帶適配器自鎖結構·節(jié)省額外的制動器設計
* 可搭載薄型、編碼器、電磁制動等步進電動機和實現低振動、低噪音驅動的驅動器組合使用。
* 搭載AZ系列步進伺服混合控制系統(tǒng)步進電動機的組合使用方式，詳情請另洽詢。
αSTEP與滾珠螺桿一體化的緊小型機體，可實現裝置設計小型化、省空間化。
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自鎖力*最大100N（安裝尺寸42mm 導程2mm），可用于保持負載。 可用于防止因自重而掉落、移動等負載保持用途。 *從外部移動螺母時，由于摩擦的關系，絲杠軸無法動作的現象稱為自鎖。
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* 搭載AZ系列步進伺服混合控制系統(tǒng)步進電動機的組合使用方式，詳情請另洽詢。
■采用小型電動缸·空間利用更出色
αSTEP與滾珠螺桿一體化的緊小型機體，可實現裝置設計小型化、省空間化。
DRS2系列
相關產品
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?絲杠帶適配器 |
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?DRS2系列（搭載αSTEP AZ系列） |
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?步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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